[发明专利]一种用于生物医学电化学检测的三维微电极及其制作方法有效
| 申请号： | 200810240372.6 | 申请日： | 2008-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN101430300A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;秦健;国石磊 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N27/327 | 分类号： | G01N27/327 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王朋飞 |
| 地址： | 100084北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于生物医学电化学检测的三维微电极结构及其制作方法。利用微加工技术，在衬底表面制作牺牲层和具有一定内应力的双层金属结构，通过去除牺牲层，将制作于衬底表面的微电极金属释放，使其通过本身的内应力作用产生背离衬底表面的翘曲，从而形成一种三维立体微电极结构。该三维微电极与将流体有更好的接触，且在相同的电极尺寸下增大了微电极与流体的有效接触面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生物医学 电化学 检测 三维 微电极 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种制作电化学三维微电极结构的方法，包括：在衬底表面形成牺牲层；在所述牺牲层上形成双金属层，使得所述双金属层产生内应力，该内应力使得所述双金属层具有向背离所述衬底的方向翘起的趋势；以及去除所述牺牲层，使得所述双金属层从所述衬底翘起。
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