[发明专利]吸附式碳纳米管湿度传感器及其制作方法

摘要

一种基于碳纳米管湿度传感器及制作方法，其包括：一基底；通过热氧化法或化学气相沉积法生长于基底表面上的绝缘层；通过光刻/刻蚀法或光刻/剥离法或丝网印刷法制备于绝缘层表面上的由金属或多晶硅构成的电极对；电极对为平行对电极或梳齿式对电极；梳齿式对电极的梳齿相对放置或梳齿交叉放置；电极对之间和电极对上/下面组装有碳纳米管材料层；组装方法为电泳组装方法或流体排布组装方法或浸泡蒸发法；有益效果：电极对制作属于标准微加工工艺或丝网印刷工艺，方法简单；碳纳米管结构尺寸小，比表面积大，吸附能力强，且电泳组装、流体组装方法或浸泡蒸发法可实现批量生产；该湿度传感器尺寸小，灵敏度高，线性度好，能用于环境湿度检测。

主权项

一种碳纳米管湿度传感器，包括：一基底，所述基底为硅、玻璃或聚合物材质的基底；一覆于所述基底上表面的绝缘层或无绝缘层；通过溅射/蒸发、光刻和腐蚀方法；或光刻、溅射/蒸发和剥离方法或丝网印刷方法制备的电极对；所述电极对上表面和电极对之间组装有碳纳米管材料层；或者，所述电极对下表面和电极对之间组装有碳纳米管材料层；所述电极对位于所述绝缘层上表面或基底上；所述绝缘层为二氧化硅层或氮化硅层；所述电极对为铝单质金属电极对、铜单质金属电极对、多晶硅电极对、由镉层和金层组合的复合金属电极，由镉层和铂层组合的复合金属电极、由钛层、铂层和金层组合的复合金属电极或由钛层和铂层组合的复合金属电极对；所述电极对为平行对电极或梳齿式对电极；所述梳齿式对电极为梳齿相对放置的对电极或梳齿交叉放置的对电极；所述的碳纳米管材料层为单壁碳纳米管材料层、双壁碳纳米管材料层、多壁碳纳米管层；还包括：加装在所述碳纳米管材料层上串联的直流稳压电源电路和弱电流测量电路。