[发明专利]微电子机械悬臂梁式微波功率耦合器及其制备方法

摘要

微电子机械悬臂梁式微波功率耦合器及其制备方法，通过制作不同尺寸的MEMS悬臂梁结构，在宽度W一定的时候，控制悬臂梁的长度L，就可以改变微波功率耦合器的耦合度。在衬底(1)上并排顺序设有第一CPW地线(31)、CPW中心信号线(2)、下拉电极(9)，在下拉电极(9)的两端分别设有第二CPW地线(32)、第三CPW地线(33)，第一氮化硅介质层(5)覆盖在下拉电极(9)上，第二氮化硅介质层(8)覆盖在CPW中心信号线(2)上；悬臂梁(4)的一端通过悬臂梁的锚区(6)连接在输出端CPW信号线(7)上，另一端位于第一氮化硅介质层(5)、第二氮化硅介质层(8)的上方。

主权项

1. 一种基于悬臂梁式的微波功率耦合器，其特征在于该微波功率耦合器以砷化镓为衬底(1)，在衬底(1)上并排顺序设有第一CPW地线(31)、CPW中心信号线(2)、下拉电极(9)，在下拉电极(9)的两端分别设有第二CPW地线(32)、第三CPW地线(33)，第一氮化硅介质层(5)覆盖在下拉电极(9)上，第二氮化硅介质层(8)覆盖在CPW中心信号线(2)上；悬臂梁(4)的一端通过悬臂梁的锚区(6)连接在输出端CPW信号线(7)上，悬臂梁(4)的另一端位于第一氮化硅介质层(5)、第二氮化硅介质层(8)的上方；与悬臂梁连接的CPW中心信号线(2)、CPW地线(3)、悬臂梁(4)、锚区(6)、输出端CPW信号线(7)和下拉电极(9)均采用金制作；不施加下拉电压时，悬臂梁(4)悬置于CPW中心信号线(2)上，当施加下拉电压后，悬臂梁(4)下拉至悬臂梁(4)的末端与第二氮化硅介质层(8)接触，此时，悬臂梁(4)末端、CPW中心信号线(2)和第二氮化硅介质层(8)构成一个金属-绝缘体-金属MIM电容，微波信号通过此MIM电容耦合到输出端，微波功率耦合器处于Down态。