[发明专利]一种改进HVPE传输气流均匀性的装置无效
| 申请号： | 200810235278.1 | 申请日： | 2008-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN101475150A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 修向前;张荣;陆海;谢自力;顾书林;施毅;韩平;朱顺明;胡立群;郑有炓 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C01B21/06 | 分类号： | C01B21/06 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 | 代理人： | 汤志武;王鹏翔 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 改进HVPE传输气流均匀性的装置，在立式HVPE生长系统中，生长室反应腔上方设有一个匀气环，匀气环设有连通的气路进口和气路出口构成，其中气路出口设有4-30个，在圆环上均匀分布，匀气环气路进口接有源气体输气终端。尤其是匀气环气路进口至每个气路出口的气体传输管路路径相同。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进 hvpe 传输 气流 均匀 装置 | ||
【主权项】：
1、改进HVPE传输气流均匀性的装置，其特征是在立式HVPE生长系统中，生长室反应腔上方设有一个匀气环，匀气环设有连通的气路进口和气路出口构成，其中气路出口设有4-30个，在圆环上均匀分布，匀气环气路进口接有源气体输气终端。
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