[发明专利]一种在锆表面渗镀铂薄膜的方法有效
| 申请号： | 200810232476.2 | 申请日： | 2008-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101413103A | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王宝云;李争显;高广睿;杜继红;严鹏 | 申请（专利权）人： | 西北有色金属研究院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/16;C23C14/54 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 | 代理人： | 李子安 |
| 地址： | 710016陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在锆表面渗镀铂薄膜的方法，其方法为：将经预处理后的锆工件置入带有加热装置的真空离子镀膜机，预抽真空至1×10-3Pa，加热工件至500℃～800℃，保温一定时间，通入氩气，调节真空度至1～9×10-1Pa，对工件加载负偏压800～2000V，开启装有铂溅射靶的溅射源；调节负偏压至100～500V，再沉积一定时间，关闭溅射源，直到锆工件温度低于100℃后取出。本发明通过控制镀膜工艺参数可制备0.1～10μm的铂扩渗层和0.1～50μm铂沉积层，制备的铂扩渗层与基体锆没有明显的界面，呈冶金结合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 渗镀铂 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种在锆表面渗镀铂薄膜的方法，将锆工件表面经过机械抛光、除油清洗和脱水烘干的预处理，其特征在于：将经预处理后的锆工件置入带有辅助加热装置的真空离子镀膜机，预抽真空至1×10-3Pa，加热工件至500℃～800℃，保温10～40min，通入氩气，调节真空度至1×10-1Pa～9×10-1Pa，对工件加载负偏压800～2000V，开启装有铂溅射靶的溅射源5～40min；调节负偏压至100～500V，再沉积10～200min，锆工件表面形成具有0.1～10μm的铂扩渗层和0.1～50μm沉积层的铂薄膜。
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