[发明专利]声表面波气体传感器及其制作方法无效
| 申请号： | 200810224902.8 | 申请日： | 2008-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN101726538A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 李昊峰;贾锐;李维龙;陈晨;朱晨昕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声表面波气体传感器，包括：一压电晶体衬底；制备于该压电晶体衬底表面的三组相互平行且间隔相等的第一叉指电极、第二叉指电极和第三叉指电极；以及在第一叉指电极与第二叉指电极，以及第二叉指电极与第三叉指电极之间的衬底表面分别蒸镀或涂敷的能够吸附被测气体的敏感膜。本发明同时公开了一种制作声表面波气体传感器的方法。利用本发明制备的声表面传感器，与不同的敏感膜搭配可以测量多种气体，具有灵敏度高，结构简单，方便制作，信号处理容易，能与半导体工艺兼容的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 气体 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种声表面波气体传感器，其特征在于，该声表面波气体传感器包括：一压电晶体衬底；制备于该压电晶体衬底表面的三组相互平行且间隔相等的第一叉指电极、第二叉指电极和第三叉指电极；以及在第一叉指电极与第二叉指电极，以及第二叉指电极与第三叉指电极之间的衬底表面分别蒸镀或涂敷的能够吸附被测气体的敏感膜。
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