[发明专利]一种利用脉冲激光精确控制曝光时间的方法无效
| 申请号： | 200810224500.8 | 申请日： | 2008-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101382741A | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | 刘世炳;黄永光;宋海英 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01S3/00 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张 慧 |
| 地址： | 100124*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是一种利用脉冲激光精确控制曝光时间的方法，用于微细加工技术领域。在曝光加工领域中随着对加工精度的要求不断提高，对曝光时间或曝光剂量的控制要求越来越高，传统的机械快门控制曝光时间或者曝光剂量的方法很难满足对极小曝光剂量的要求。本发明利用脉冲激光进行曝光时间的控制，使得对曝光时间的控制精确到了飞秒量级，结合多脉冲技术可以实现从飞秒量级到秒量级的曝光时间的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 脉冲 激光 精确 控制 曝光 时间 方法 | ||
【主权项】：
1、一种利用脉冲激光精确控制曝光时间的方法，其特征在于：将待曝光用样品固定在平移台上，脉冲激光器发出的脉冲激光通过光路系统作用在曝光用样品上，通过控制脉冲激光的脉冲持续时间即脉宽来控制曝光时间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京工业大学，未经北京工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810224500.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：便携跟踪式太阳能电源系统
- 下一篇：一种新型灭火器充气装置
