[发明专利]一种测量等离子体的离子空间角分布的方法

摘要

本发明是一种测量等离子体的离子空间角分布的方法，其使用仪器主要包括激光器、烧蚀室、靶、平行板电极。激光器发出的激光经聚焦后垂直照射在烧蚀室可旋转的靶上，可使靶面可以绕烧蚀中心转动，相对靶面法线方向不同角度散射的离子进入质谱室小孔，经过平行板电极，平行板电极可绕靶做180度的旋转，所得结果将是离子平动能分辨的空间角分布。所得结果将是离子平动能分辨的空间角分布。一个要注意的问题是，当Al靶转动时，烧蚀激光入射到靶面与靶面法线的夹角是在变化的，夹角不同，入射的激光通量也不同。本发明测量精度高、效果好，具有广阔的应用前景。

主权项

1.一种测量等离子体的离子空间角分布的方法，其测量仪器主要包括激光器(1)、烧蚀室(2)、靶(3)、平行板电极(4)；激光器(1)发出的激光经聚焦后垂直照射在烧蚀室(2)可旋转的靶(3)上，可使靶面可以绕烧蚀中心转动，相对靶面法线方向不同角度散射的离子进入质谱室小孔，经过平行板电极(4)，平行板电极(4)可绕靶(3)做180度的旋转，所得结果将是离子平动能分辨的空间角分布；一个要注意的问题是，当Al靶转动时，烧蚀激光入射到靶面与靶面法线的夹角是在变化的，夹角不同，入射的激光通量也不同，因此实验结果需经激光通量变化引起的离子强度变化的修正。