[发明专利]液体树脂供给方法及装置无效
| 申请号： | 200810216957.4 | 申请日： | 2008-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN101398628A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 贾伟喜 | 申请（专利权）人： | 清溢精密光电（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/027;G03F7/033 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液体树脂供给方法及装置，该液体树脂供给方法是将液体感光树脂向曝光设备供给的液体树脂供给方法，其利用重力使液体树脂以一定的流量经由具有落差的导管向所述曝光设备补充树脂；该液体树脂供给装置包括树脂容器、与所述树脂容器下部连通并具有落差的导管，所述导管两端连线与水平面之间的夹角大于0度。与现有技术相比较，本发明采用重力使液体树脂以一定的流量经由具有落差的导管向所述曝光设备补充树脂，不仅消除了现有技术中采用泵去抽取液体树脂容易生成气泡的缺陷，而且液体树脂供给装置的结构简单，其耐压及密闭性要求较低，在保证品质的同时可大幅降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 树脂 供给 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种液体树脂供给方法，是将液体感光树脂向曝光设备供给的液体树脂供给方法，其特征在于，利用重力使液体树脂以一定的流量经由具有落差的导管向所述曝光设备补充树脂。
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