[发明专利]电子部件和显示装置及所述电子部件和显示装置的制造方法

摘要

本发明的一种电子部件或显示装置可以通过利用以下图案成形方法提供。在用第一抗蚀图案作为第一掩模的第一蚀刻所处理的基板上，第二抗蚀图案转印在第一抗蚀图案上，以便与第一抗蚀图案部分重叠，并从第一抗蚀图案部分延伸。然后，通过利用第一抗蚀图案和第二抗蚀图案作为第二掩模进行第二蚀刻。第一抗蚀图案和第二抗蚀图案用于形成配线和/或端子，而第二抗蚀图案的延伸部分用于使配线具有阶梯状边缘形状的横截面。

主权项

1.一种电子部件的制造方法，包括步骤：通过利用第一抗蚀图案作为第一掩模进行第一蚀刻；转印第二抗蚀图案，以便重叠在所述第一抗蚀图案的至少一部分上，并从该第一抗蚀图案延伸出来；以及通过利用所述第一抗蚀图案和所述第二抗蚀图案作为第二掩模进行第二蚀刻。