[发明专利]流量检定系统和流量检定方法

摘要

流量检定系统和流量检定方法。该系统，适合刚在流量控制装置开始流量控制之后就通过检定气体管道系统中的流量检定流量特性，包括第一截止阀、安装在第一截止阀下游的流量控制装置和用于测量流量控制装置下游的压力的压力传感器，基于由压力传感器测量的压力进行流量检定。该系统还包括用于存储基准值的基准值存储装置，基准值通过对在正常的流量控制操作期间由压力传感器测量的压力值进行积分来计算，和异常检测装置，用于当工艺气体通过第一截止阀被供应到流量控制装置、在流量上被流量控制装置控制并被供应到压力传感器时，通过对由压力传感器测量的压力值进行积分计算压力积分值并将压力积分值与基准值进行比较来检测工艺气体的异常流量。

主权项

1.一种用于检定气体管道系统中的流量的流量检定系统，所述气体管道系统包括：第一截止阀；安装在所述第一截止阀下游的流量控制装置；和用于测量所述流量控制装置下游的压力的压力传感器，所述流量检定系统适合基于由所述压力传感器测量的压力来检定流量，所述流量检定系统包括：用于存储基准值的基准值存储装置，所述基准值通过对在所述流量控制装置的正常操作期间由所述压力传感器测量的压力值进行积分来计算；以及异常检测装置，其用于当工艺气体通过所述第一截止阀被供应到所述流量控制装置、在流量上被所述流量控制装置控制并且被供应到所述压力传感器时，通过对由所述压力传感器测量的压力值进行积分来计算压力积分值，并将所述压力积分值与所述基准值进行比较来检测工艺气体的异常流量。