[发明专利]用于进行石英增强的光声光谱测量的方法和气体传感器

摘要

本发明涉及基于石英增强的光声学的气体传感器，主要用于价格非常低廉的应用。根本的思想是用在音叉上产生的壁噪音替代一般用于激光强度测量的光电二极管。这消除了光电二极管的成本。入射在音叉上的激光束产生的壁噪音与激光束的强度成比例。根据待测气体，可以通过仅使用一个音叉或将第二音叉优选设置在第一音叉后面，将壁噪音信号从气体浓度信号中分离出来。

主权项

1、一种用来对气体进行石英增强的光声光谱测量的方法，包括提供光源(1)，所述光源被配置成将具有至少一个波长的激光束(2)引入该气体内以致在该气体内的至少一个分子被激发产生声信号，在谐振声检测器(3)中积聚声信号；通过至少一个作为谐振声检测器的音叉(3)产生谐振吸收信号(SA)，该谐振吸收信号与气体浓度有关，其特征为，另外产生谐振强度信号(SI)，该谐振强度信号与通过气体的激光束(2)的强度成比例，提供输出信号(SGC)，该输出信号来自所述的吸收信号(SA)和所述的谐振强度信号(SI)并且和光的强度无关，与气体的存在或浓度有关，通过使光在所述的至少一个音叉(3)的音叉臂间(8)通过，产生所述的谐振吸收信号(SA)，以及由所述的至少一个音叉(3)通过解谐光源(1)使光主要入射在所述至少一个音叉(3)的音叉臂(8)上，来产生所述的谐振强度信号(SI)；或由至少一个另外的音叉(6)产生所述的谐振强度信号(SI)，所述至少一个另外的音叉与现在作为第一音叉的所述至少一个音叉(3)串联地布置并且优选布置在所述至少一个音叉(3)的后面，使得光主要入射在所述至少一个第二音叉(6)的音叉臂(8)上。