[发明专利]微机械传感器或致动器组件及其生产方法无效
| 申请号： | 200810212202.7 | 申请日： | 2008-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN101412493A | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 亚历山大·沃尔特尔;希尔奥·森德尔;哈拉尔德·希恩克 | 申请（专利权）人： | 弗兰霍菲尔运输应用研究公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余 朦;王艳春 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及具有光学功能的微机械传感器或致动器组件和生产方法。因此，衬底具有电极和电接触以及能够相对于该衬底偏转的光、电致动元件。同样提出了透明盖。本发明的目的是生产具有光学功能的微机械传感器或致动器组件和提出用于生产该组件的方法，使其减少或甚至避免反射，其中该反射可损害微机械传感器或致动器组件的功能。根据本发明，盖的光学主轴因而不垂直于衬底的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 致动器 组件 及其 生产 方法 | ||
【主权项】：
1. 具有光学功能的微机械传感器或致动器组件，其中，所述微机械传感器或致动器组件具有衬底和光学元件，所述光学元件能够相对于所述衬底进行偏转，所述衬底的表面和所述可偏转元件的表面由透明的盖密封，其特征在于，所述盖(22，21)的光学主轴不垂直于所述衬底(1)的所述表面。
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