[发明专利]一种多晶硅四面四角的磨削方法有效
| 申请号： | 200810204589.1 | 申请日： | 2008-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN101745854A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 卢建伟 | 申请（专利权）人： | 上海日进机床有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B7/17 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201601 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅四面四角的磨削方法，其主要是将一对杯形砂轮沿横向轴相对设置，使两个所述杯形砂轮之间形成一外环磨削空间以及一内环调整空间，并在所述二杯形砂轮绕横向轴旋转时，输送所述多晶硅通过所述外环磨削空间进行双面或双角磨削，当所述多晶硅进至所述内环调整空间时，令所述多晶硅绕其纵向轴旋转以转换到另一待磨削面或待磨削角，并从所述内环调整空间内送出所述多晶硅，以使其通过所述外环磨削空间时再进行另一双面或双角的磨削，如此以简化了现有技术中的磨削过程，并确保该多晶硅的精确磨削尺寸，进而提高了工作效率以及该多晶硅的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 四面 四角 磨削 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅四面四角的磨削方法，其特征在于：将一对具有环形磨削面的杯形砂轮沿横向轴相对设置，使所述二杯形砂轮之间形成一外环磨削空间以及一内环调整空间，并在所述二杯形砂轮绕横向轴旋转时，输送所述多晶硅通过所述外环磨削空间进行双面或双角磨削，当所述多晶硅进至所述内环调整空间时，令所述多晶硅绕其纵向轴旋转预设角度，并自所述内环调整空间送出所述多晶硅，以使其通过所述外环磨削空间时进行另一双面或双角磨削。
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