[发明专利]一种可调带隙三节薄膜太阳能电池及其制作方法

摘要

本发明涉及一种基于玻璃衬底的可调带隙薄膜太阳能电池及其制作方法，其特征在于采用不同带隙结构材料α-SiC、αGe_xSi_1-x、μ-Si作为吸收层，组成三节结构，增加光能捕获；采用调节本征层Ge、Si成分比例的方法，获得不同的带隙，从而增强光能吸收；采用PECVD成膜，工艺加工耗能少；采用激光划片，实现电池片内串连，无需光刻工艺，适合批量生产。

主权项

1、一种可调带隙三节薄膜太阳能电池，包括以玻璃为衬底，与衬底紧连的透明导电薄膜层为正极，Ag为负极，其特征在于在光入射方向上采用带隙宽度依次减小的三种材料串联作为吸收层，组成三节结构；其中第一节顶层为非晶碳化硅薄膜，中间第二节为可调带隙的非晶锗硅薄膜，第三节底层为微晶硅薄膜；第二节中所述的可调带隙的非晶锗硅薄膜组成通式为αGexSi1-x，式中克原子数x为0～0.20。