[发明专利]一种产生大气压微波辉光等离子体的装置

摘要

本发明涉及一种产生大气压微波辉光等离子体的装置，包括有等离子体反应器、微波调控及监控系统、微波源，微波源通过连接法兰与微波调控及监控系统的右端相连，等离子体反应器由矩形波导、棒状电极、平板电极、短路活塞、石英管、水冷套及上法兰、下法兰构成，矩形波导的宽边开有通孔，石英管穿过通孔装于矩形波导上，在石英管的外侧装有水冷套，石英管与上法兰、下法兰密封连接构成工作室，棒状电极与上法兰通过螺纹密封连接，平板电极与下法兰通过螺纹密封连接，在等离子反应器的左侧端部设置有短路活塞。本发明可以在大气压下运行微波辉光等离子体，有利于进行连续生产，产生的等离子体具有更高能量密度和更高的活性粒子浓度，具有更高的效率。

主权项

1、一种产生大气压微波辉光等离子体的装置，其特征在于包括有等离子体反应器(3)、微波调控及监控系统(2)、微波源(1)，微波源(1)通过连接法兰与微波调控及监控系统的右端相连，其中，等离子体反应器(3)由矩形波导、棒状电极(6)、平板电极(11)、短路活塞(8)、石英管(4)、水冷套及上法兰(5)、下法兰(7)构成，在矩形波导的宽边上开有直径40-60mm的通孔，相同外径的石英管穿过通孔装于矩形波导上，在石英管的外侧装有水冷套(13)，水冷套(13)外侧设置有循环冷却水入口(16)和循环冷却水出口(17)，在石英管的两端装有上法兰(5)和下法兰(7)，石英管与上法兰、下法兰密封连接构成工作室，棒状电极与上法兰通过螺纹密封连接，棒状电极的位置可以通过螺纹调节，平板电极与下法兰通过螺纹密封连接，平板电极的高度可以通过螺纹调节，在等离子反应器的左侧端部设置有短路活塞(8)。