[发明专利]一种在干涉图外圈开辟环形光强监测区的光强修正方法

摘要

本发明为一种在干涉图外圈开辟环形光强监测区的光强修正方法，第一步：在干涉仪基础上添加被测件孔径光阑，将干涉图最外圈环状部分直接转化为光强监测区；第二步：利用系统中唯一的图像探测器在记录干涉图的同时记录下光强监测区的光强；第三步：图像处理得到光强修正系数，在处理时序干涉图之前，处理光强监测区的光强，提取光强修正系数；第四步：利用光强修正系数修正干涉图光强。在经典干涉仪设置中简单添加被测件孔径光阑即可在记录干涉图的同时完成监测光探测，不改变光路形式、不增加复杂组件或子光路，硬件系统及其简单；采用外圈环形光强监测区，在获得足量的光强修正信息的同时最大限度的保留了被测口径。

主权项

1、一种在干涉图外圈开辟环形光强监测区的光强修正方法，其特征在于：包括以下步骤：第一步：在干涉仪基础上添加被测件孔径光阑，将干涉图最外圈环状部分直接转化为光强监测区；在面形测量干涉仪的测量光路中设置孔径光阑，当平面测量时，测量光的口径小于参考光的口径；当球面测量时，测量光的相对口径小于参考光的相对口径；在测量光与参考光的公共口径中形成被测干涉图，参考光比测量光大的外圈剩余环状口径作为光强监测区；第二步：利用系统中唯一的图像探测器，即采集干涉图的图像探测器在记录干涉图的同时记录下光强监测区的光强；第三步：图像处理得到光强修正系数，在处理时序干涉图之前，处理光强监测区的光强，提取光强修正系数：任取第a幅干涉图光强监测区全部光强作为光强基准值I0；对于需要修正第b幅干涉图，与光强基准值获取方法对应，获得该幅干涉图光强监测区的光强值Ib；计算第b幅干涉图的光强修正系数：Cb＝(Ib-I0)/I0 (1)第四步：利用光强修正系数修正干涉图光强：以需要修正的第b幅干涉图为例，该干涉图修正之前的光强分布设为S(x，y)，那么修正后的光强分布T(x，y)满足：T(x，y)＝S(x，y)×(1+Cb) (2)将所有干涉图的光强都修正到作为参考的第a幅干涉图的光强上。