[发明专利]石英晶片低温频温曲线测试装置有效
| 申请号: | 200810188070.9 | 申请日: | 2008-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN101769911A | 公开(公告)日: | 2010-07-07 |
| 发明(设计)人: | 臧卫国;易忠;杨东升;于钱 | 申请(专利权)人: | 北京卫星环境工程研究所 |
| 主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00;G01K7/18 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 100094*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种石英晶片低温频温曲线测试装置,由晶片试验装置、铂电阻、电路组件、频率测量系统和电缆线组成,晶片试验装置包括晶片安装板(1)、温控法兰(2)、加热片(3)和温控盖板(7),晶片安装板(1)整体呈倒置的π形,突台式温控法兰(2)扣在晶片安装板(1)上,形成一个放置被测晶片的空间,温控法兰(2)的上部设置有圆形的加热片(3),加热片(3)的上部设置有圆形的温控盖板(7),突台外的圆形底板上均布有数个与冷屏的安装孔(9),可以通过螺钉将温控法兰2的外圈与冷屏接触且固定。本发明填补了国内空白,采用冷屏降温、加热片升温的方式,可以高精度的测试晶片性能。 | ||
| 搜索关键词: | 石英 晶片 低温 曲线 测试 装置 | ||
【主权项】:
一种石英晶片低温频温曲线测试装置,由晶片试验装置、铂电阻、电路组件、频率测量系统和电缆线组成,晶片试验装置包括晶片安装板(1)、温控法兰(2)、加热片(3)和温控盖板(7),其特征在于,晶片安装板(1)整体呈倒置的π形,温控法兰(2)是一个突台法兰,扣在晶片安装板(1)上,形成一个放置被测晶片的空间,温控法兰(2)的上部设置有圆形的加热片(3),加热片(3)的上部设置有圆形的温控盖板(7),加热片(3)和温控盖板(7)的直径与突台的内径相同,突台外的圆形底板上均布有数个与冷屏的安装孔(9)。
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