[发明专利]光学位置测量装置

摘要

本发明涉及一种光学位置测量装置，该装置用于确定两个在测量方向(x)内相互运动的物体的相对位置，其中在至少一个规定的参考位置上可产生一个参考脉冲信号。该位置测量装置包括一个与两个物体之一连接的并在该参考位置上具有一个参考标志的比例尺，该参考标志由许多在测量方向内非周期设置的带有不同光学特性的区段组成，在测量方向内邻接该参考标志两侧分别设置有附加结构，这种附加结构在测量方向内延伸并把要产生的参考脉冲信号的辅助最大值降到最低。此外，该位置测量装置包括一个在比例尺对面在测量方向内运动的扫描单元，该扫描单元与另一物体连接并带有一个光源和一个由单个探测元件组成的探测装置。

主权项

1. 光学位置测量装置用于确定两个在测量方向(x)内相互运动的物体的相对位置，其中在至少一个规定的参考位置(XREF)上可产生一个参考脉冲信号(RI)，且该位置测量装置包括下列组成部分：-一个与两物体之一连接的并在参考位置(XREF)上有一个参考标志(12.1)的比例尺(10)，该参考标志由许多在测量方向(x)非周期设置的带有不同光学特性的区段组成，其中在测量方向(x)内邻接参考标志(12.1)两侧分别设置有附加结构(14)，这种结构在测量方向(x)内延伸并把要产生的参考脉冲信号(RI)的辅助最大值降到最低；-一个在比例尺(10)对面在测量方面(x)内运动的扫描单元(20)，该扫描单元与另一物体连接并带有-一个光源(23)，-一个由单个探测元件(22.1～22.9)组成的参考脉冲探测装置(22)，这些元件的几何配置与参考标志(12.1)匹配，以便产生参考脉冲信号(RI)，其特征为，附加结构(14)包括至少两条带有第一光学特性的迹线(14.1、14.2)，其间设置一个在测量方向(x)内延伸的带有第二光学特性的区段(14.3)。