[发明专利]三维形貌检测装置有效
| 申请号： | 200810180153.3 | 申请日： | 2008-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN101750027A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 王伟诚;郭世炫;陈金亮 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种三维形貌检测装置，其包含至少二光学检测装置及一倾斜角度调整机构。该倾斜角度调整机构将至少二光学检测装置架设其上，以调整该光学检测装置的倾斜角度。当至少二光学检测装置的倾斜角度改变时，该至少二光学检测装置的焦点维持在同一位置，并使待测物位于该至少二光学检测装置的视场范围内。将该至少二光学检测装置撷取影像数据进行影像重建后，即可得到待测物的三维形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 形貌 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种三维形貌检测装置，其特征在于，包含：至少二光学检测装置；一倾斜角度调整机构，将该至少二光学检测装置架设其上，以调整该至少二光学检测装置的倾斜角度；其中当该至少二光学检测装置的倾斜角度改变时，该至少二光学检测装置的焦点维持在同一位置，并使待测物位于该至少二光学检测装置的视场范围内。
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