[发明专利]镀铜浴的配方

摘要

本发明提供一种铜镀液的组合物，其可以沉淀出均匀且平滑的，具有优异外观的铜镀膜，即使所形成的铜镀膜较薄。该铜镀液组合物含有特定含量的氯化物离子和溴化物离子。

主权项

1. 一种铜镀液的组合物，所述组合物含有铜离子、电解质和氯化物复合离子和溴化物复合离子，以使镀铜液中所含的氯化物复合离子和溴化物复合离子的含量满足以下方程(1)，(2)和(3)。(Cl-30)/20

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