[发明专利]一种可调反射式装置

摘要

本发明描述基于微机电系统技术的一种可调反射式装置，其中包括基片、固定支撑部分、颈项部分以及微镜部分。固定支撑部分和基片绝缘并固定在基片上，微镜部分依靠和基片之间的静电力而被驱动。颈项部分由于自身应力导致弯曲进而带动微镜部分产生远离基片的预置偏转角，提高了可调反射角度范围，同时简化了芯片制造工艺。本发明采用弯曲形变而代替传统的扭曲形变，并加大了微镜部分和其他部分的连接区域，使器件的抗冲击性能得到很大提高。针对当微镜部分的反射层为金属层而导致的器件温度特性变差的问题，本发明采用了相应的补偿方法。

主权项

一种基于微机电系统技术的可调反射式装置，其特征在于包括：导电的基片；导电的微镜部分；导电的颈项部分；固定支撑部分；所说基片和微镜部分之间以及基片和颈项部分之间有空隙层；所说颈项部分的一端和所说固定支撑部分相连，所说颈项部分另一端和所说微镜部分的一端相连；所说颈项部分存在应力分布而导致弯曲，所说微镜部分在此弯曲的带动下产生远离基片的预置偏转角度；所说微镜部分在其自身和所说基片间静电力的作用下使所说颈项部分产生形变，从而向所说基片偏转，导致所说微镜部分的法线方向发生变化，致使反射光束的传播方向发生变化。