[发明专利]外延成长方法有效
| 申请号: | 200810168718.6 | 申请日: | 2008-09-26 |
| 公开(公告)号: | CN101684568A | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
| 发明(设计)人: | 宋健民 | 申请(专利权)人: | 中国砂轮企业股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B19/00 | 分类号: | C30B19/00 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周长兴 |
| 地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 一种外延成长的方法,包括提供一模具;提供一基板,且基板设置于模具内;提供一溶剂及一溶质,液化溶剂使溶质溶在溶剂内,以形成一熔融液于模具与基板之间;以及形成一第一外延层于基板表面,其中,熔融液是由一温度梯度熔解模具及基板,以形成第一外延层于基板表面。 | ||
| 搜索关键词: | 外延 成长 方法 | ||
【主权项】:
1、一种外延成长的方法,其包括下列步骤:提供一模具;提供一基板,且该基板设置于该模具内;提供一溶剂及一溶质,液化该溶剂使该溶质溶在该溶剂内,以形成一熔融液于该模具与该基板之间;以及形成一第一外延层于该基板表面;其中,该熔融液是由一温度梯度熔解该模具及该基板,以形成该第一外延层于该基板表面。
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