[发明专利]粘合片、与切割胶带一体化的粘合片以及半导体的制造方法有效
| 申请号: | 200810165821.5 | 申请日: | 2004-06-04 |
| 公开(公告)号: | CN101362926A | 公开(公告)日: | 2009-02-11 |
| 发明(设计)人: | 稻田祯一;增野道夫;宇留野道生 | 申请(专利权)人: | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号: | C09J7/02 | 分类号: | C09J7/02;C09J163/00;C09J133/04;H01L21/00;H01L21/58;H01L21/78;H01L21/301 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 丁文蕴 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供一种粘合片,使其能在100℃或以下的低温下粘贴到晶片上、具有能在室温下进行处理的柔韧度、而且能在通常的切断条件下与晶片同时切断;本发明还提供所述粘合片与切割胶带层压形成的与切割胶带一体化的粘合片,以及使用这些粘合片的半导体装置的制造方法。为此,所述粘合片的特征为,其断裂强度、断裂延伸率、弹性模量分别为所规定的特定数值范围内。 | ||
| 搜索关键词: | 粘合 切割 胶带 一体化 以及 半导体 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种与切割胶带一体化的粘合片,其特征在于,其是将粘合片与切割胶带层压形成的与切割胶带一体化的粘合片,所述粘合片含有高分子量成分、环氧树脂和填料,所述切割胶带具有由氯乙烯构成的基体层。
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