[发明专利]高精度气体泄漏分工位检测装置

摘要

一种高精度气体泄漏分工位检测装置，包括标准容器、被测容器和气源，检测减压阀通过总接头阀连接到检测管路和标准容器管路，检测管道的另一端连接被测容器，标准容器管的另一端连接标准容器，检测管路和标准容器管路之间安装有差压接头阀和差压传感器，充气减压阀连接充气接头阀，检测管路连接用于根据差压信号确定补偿量并控制步进电机进给量的智能补偿控制器，被测容器位于工作台上，其特征在于：工作台包括充气工位、平衡工位、检测工位、排气工位以及工位转换机构，充气工位设有充气接头阀座、平衡工位设有平衡接头阀座、检测工位设有检测接头阀座，排气工位设有排气接头阀座。本发明能够提高检测精度和检测效率。

主权项

1、一种高精度气体泄漏分工位检测装置，包括标准容器、被测容器和气源，所述气源连接气源处理设备，所述的气源处理设备出口设有检测减压阀和充气减压阀，所述检测减压阀通过总接头阀连接到检测管路和标准容器管路，所述的检测管道的另一端连接被测容器，所述的标准容器管的另一端连接标准容器，所述的检测管路和标准容器管路之间安装有差压传感器、保护接头阀和保压接头阀，所述充气减压阀连接充气接头阀，所述检测管路连接容积补偿阀和补偿气缸，所述补偿气缸连接步进电机，所述步进电机的输出轴连接位移传感器，所述的被测容器位于工作台上，其特征在于：所述的工作台包括充气工位、平衡工位、检测工位、排气工位以及工位转换机构，所述充气工位设有充气接头阀座、所述平衡工位设有平衡接头阀座、所述检测工位设有检测接头阀座，所述排气工位设有排气接头阀座。