[发明专利]基于PVDF的轻敲式高灵敏度SPM测头及测量方法有效
| 申请号： | 200810156821.9 | 申请日： | 2008-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN101393008A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 黄强先;侯茂盛;杨朋桢;罗涛;张瑜 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B7/28 | 分类号： | G01B7/28 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 基于PVDF的轻敲式高灵敏度SPM测头及测量方法，其特征是以PVDF压电薄膜为振动梁、以钨探针为扫描探针；振动梁设置为具有弯曲弧度的简支梁，振动梁的左右两端通过夹持结构分别固定在相对设置的两侧压电驱动器的前端，两侧压电驱动器的后端分别固定在各自的悬臂梁上，悬臂梁呈单端悬置设置在测头架上；扫描探针固定设置在振动梁下表面的中心位置上。本发明是以振动梁输出的电荷量的改变表征振动梁由所受微测力而导致的振幅变化，在被测面上进行多点微测力轻敲扫描实现对试样表面的测量。本发明可以实现高空间分辨率、低测量力，适合各种材料，并且可以在空气环境中进行测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 pvdf 轻敲式高 灵敏度 spm 测量方法 | ||
【主权项】：
1、基于PVDF的轻敲式高灵敏度SPM测头，其特征是以PVDF压电薄膜为振动梁(6)、以钨探针为扫描探针(7)；所述振动梁(6)设置为具有弯曲弧度的简支梁，振动梁(6)的左右两端通过夹持结构(10)分别固定在相对设置的两侧压电驱动器(4)的前端，两侧压电驱动器(4)的后端分别固定在各自的悬臂梁(3)上，悬臂梁(3)呈单端悬置设置在测头架(1)上；所述扫描探针(7)固定设置在振动梁(6)下表面的中心位置上。
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