[发明专利]导轨滚转角的非接触激光检测方法

摘要

本发明公开的一种导轨滚转角的非接触激光检测方法，按以下步骤进行：采用一检测装置，以激光器发出的线偏振激光为探测光，探测光射入敏感元件1/2波片，经1/2波片后射向直角棱镜；探测光经直角棱镜反射，得到与入射光束平行的逆向光束，该逆向光束再次通过1/2波片后射入偏振分光镜，偏振分光镜的两束出射光分别射入两光电探测器，产生反映光强的电流信号；电流信号经信号处理电路后得到反映两束光光强差的电压信号，电压信号经计算机处理得到反映被测导轨滚转角的大小和方向。本发明方法可用于采用直线导轨的加工或测量设备，以实现其直线导轨滚转角的动、静态检测，该测量方法具有较高的检测精度。

主权项

1.一种导轨滚转角的非接触激光检测方法，具体按以下步骤进行：步骤1：采用一检测装置，以检测装置中的激光器发出的线偏振激光为探测光，该线偏振激光射入沿光束方向设置的1/2波片，通过1/2波片后射入设置于1/2波片后的直角棱镜；步骤2：射入直角棱镜的线偏振激光经其反射后，形成与入射光束平行的逆向探测光并出射，该逆向探测光再次射入1/2波片；步骤3：逆向探测光再次透过1/2波片后，射入沿逆向探测光方向设置的偏振分光镜，偏振分光镜将入射的逆向探测光分成两束分光，该两束分光分别射入沿分光光束射出方向设置的两个光电探测器；步骤4：两光电探测器分别产生反映各自入射光光强的电流信号，并送入与两光电探测器相连接的信号处理电路：步骤5：信号处理电路对来自光电探测器的电流信号进行处理，得到反映偏振分光镜两束出射分光束光强差的电压信号U0；步骤6：信号处理电路将得到的电压信号U0送入与其相连接的计算机，经计算机处理后得到被测导轨滚转角的大小和方向。