[发明专利]多晶硅还原炉高压启动装置有效

专利信息
申请号: 200810147870.6 申请日: 2008-12-13
公开(公告)号: CN101428801A 公开(公告)日: 2009-05-13
发明(设计)人: 肖扬华;丁国江;雷凯;雷建明;熊向杰 申请(专利权)人: 东方电气集团东方汽轮机有限公司
主分类号: C01B33/021 分类号: C01B33/021
代理公司: 德阳三星专利事务所 代理人: 刘克勤;段雪茵
地址: 6182*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种多晶硅还原炉高压启动装置,用于西门子法生产多晶硅的硅棒击穿、预加热阶段,包括饱和电抗器、变压器、倒级开关及检测装置和中央控制器,检测装置包括变压器原边电压检测装置、变压器原边电流检测装置、硅棒电流检测装置;中央控制器包括:饱和电抗器控制模块,用于控制饱和电抗器的电感值;倒级开关控制模块,用于控制倒级开关分接位置;存储模块,用于存储检测信号数据、硅棒加热温度数学模型等;计算模块,用于将检测信号数据与硅棒加热温度数学模型进行比较,计算控制信号的值;输出模块,用于将控制信号输送到各被控对象的控制模块。该装置自动控制硅棒击穿、预加热过程的升温速率,对硅棒加热功率无级连续调节,精度高,不会发生瞬时超温的现象。
搜索关键词: 多晶 还原 高压 启动 装置
【主权项】:
1. 一种多晶硅还原炉高压启动装置,其特征在于,包括顺序链接的饱和电抗器、变压器、倒级开关及它们的检测装置和中央控制器,所述检测装置包括变压器原边电压检测装置、变压器原边电流检测装置、硅棒电流检测装置;所述中央控制器具有如下功能模块:数据采集模块,用于采集检测信号数据;饱和电抗器控制模块,用于控制饱和电抗器的电感值;倒级开关控制模块,用于控制倒级开关的分接位置;存储模块,用于存储检测信号数据、硅棒加热温度数学模型、控制信号数据;计算模块,用于将检测信号数据与硅棒加热温度数学模型进行比较,计算控制信号的值;输出模块,用于将控制信号输送到各被控对象的控制模块。
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