[发明专利]多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法有效
| 申请号： | 200810143585.7 | 申请日： | 2008-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101412632A | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 易茂中;方勋华;葛毅成;冉丽萍;彭可 | 申请（专利权）人： | 中南大学;湖南博云新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/83 | 分类号： | C04B35/83 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所 | 代理人： | 邓建辉 |
| 地址： | 410083*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法，将U形炭纤维坯体进行高温纯化预处理后沉积，热处理温度为1600～2800℃；将U形炭纤维坯体以高纯N2为载气和稀释气体、C3H6为炭源进行裂解增密制备出炭/炭复合坯体，裂解温度850～1200℃，时间100～400h，炉内气压0.5kPa～2.5kPa；将增密至一定密度的炭/炭复合坯体进行机加工，酸洗+氯盐洗，进行高温纯化处理，处理温度为2000～2800℃；将炭/炭复合坯体以高纯N2为载气和稀释气体、C3H6为炭源进行表面涂层处理，裂解温度900～1300℃，时间10～100h，炉内气压1.0kPa～4.0kPa；并测定炭/炭复合材料发热体成品的技术指标。本发明能制备出纯度高、电阻率随温度变化稳定、使用寿命长的大尺寸异形薄壁炭/炭复合材料发热体。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 硅炉用炭 复合材料 发热 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种多晶硅炉用炭/炭复合材料发热体的制备方法，其特征是：包括以下步骤：(1)、将聚丙烯腈基炭纤维针刺整体毡按设计要求编织成U形炭纤维坯体，将U形炭纤维坯体放在已经过高温纯化处理的石墨工装上以保持其形状；(2)、将U形炭纤维坯体和工装一起进行高温纯化预处理后沉积，热处理温度为1600～2800℃；(3)、将U形炭纤维坯体和工装共同放入化学气相渗透炉中，以高纯N2为载气和稀释气体、经净化处理的C3H6为炭源气体，混合后通入高温渗透炉内进行裂解增密制备出炭/炭复合坯体，裂解温度850～1200℃，时间100～400h，炉内气压0.5kPa～2.5kPa；(4)、将增密至一定密度的炭/炭复合坯体进行机加工，酸洗+氯盐洗，然后进行高温纯化处理，处理温度为2000～2800℃；(5)、将加工好的炭/炭复合坯体放入化学气相沉积炉中，以高纯N2为载气和稀释气体、经净化处理的C3H6为炭源、混合后通入沉积炉内进行表面涂层处理，裂解温度900～1300℃，时间10～100h，炉内气压1.0kPa～4.0kPa。(6)、测定炭/炭复合材料发热体成品的技术指标。
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