[发明专利]可控多元阴极弧等离子体形成装置及方法

摘要

可控多元阴极弧等离子体形成装置及方法，它涉及等离子体形成装置及方法。本发明为解决现有多元复合膜层制备采取复合多元靶材的方式，复合靶材制作困难的问题。装置：阴极与阴极座连接，阴极与触发板设在放电室内，阳极设置在阴极的下方，放电室通过连接管与过滤室连接。方法：将放电室抽真空到1×10^－1Pa的压力，采用4kV的触发脉冲加到触发极上引燃阴极，放电电流为40～200A，过滤磁场强度为200高斯，在过滤室中形成多元阴极弧等离子体。本发明采用的阴极为多个纯金属阴极，加工制备简单，避免了复合多元阴极由于硬度高而制作困难的现象，通过本发明形成的多元阴极弧等离子体的组分种类和密度调整简单。

主权项

1、一种可控多元阴极弧等离子体形成装置，它由放电室(1)、过滤室(2)和连接管(3)组成，连接管(3)的上端与放电室(1)的下端连接，连接管(3)的下端与过滤室(2)的上端连接，其特征在于：放电室(1)由磁场线圈(1-1)、上盖1-2)、阴极保护套(1-3)、阴极(1-4)、触发绝缘块(1-5)、触发板(1-6)、触发杆绝缘套(1-7)、触发杆(1-8)、触发杆外套(1-9)、阴极座(1-10)、阴极绝缘套(1-11)、阳极(1-12)、阳极座(1-13)、阴极保护套座(1-14)和阳极圆筒(1-15)组成，上盖(1-2)上设有阴极座孔(1-2-1)和触发杆孔(1-2-2)，阴极保护套(1-3)上设有阴极孔(1-3-1)，阴极保护套(1-3)通过阴极保护套座(1-14)固定在上盖(1-2)的下端，阴极孔(1-3-1)与阴极座孔(1-2-1)相通，阴极绝缘套(1-11)设置在阴极座孔(1-2-1)中，阴极座(1-10)设置在阴极绝缘套(1-11)中，触发杆外套(1-9)设置在触发杆孔(1-2-2)中，触发杆(1-8)设置在触发杆外套(1-9)中，触发杆绝缘套(1-7)穿过触发杆(1-8)的下端且套在触发杆外套(1-9)上，触发板(1-6)与阴极(1-4)对应一侧设有阶梯表面(1-6-1)，触发板(1-6)套在触发杆(1-8)的下部，触发绝缘块(1-5)与触发板(1-6)上的阶梯表面(1-6-1)相连，阴极(1-4)设置在阴极孔(1-3-1)中，阴极(1-4)的上端与阴极座(1-10)的下端连接，阴极(1-4)的下端面与触发板(1-6)和触发绝缘块(1-5)的下端面平齐，阳极圆筒(1-15)设置在上盖(1-2)下端面的周边，阳极圆筒(1-15)的下端与阳极座(1-13)的周边连接，阳极(1-12)与阳极座(1-13)的上表面相连，阳极(1-12)上设有阳极孔(1-12-1)，阳极座(1-13)上设有阳极座孔(1-13-1)，阳极孔(1-12-1)与阳极座孔(1-13-1)相通，磁场线圈(1-1)设置在阳极圆筒(1-15)的外侧壁上，过滤室(2)由法兰(2-1)、过滤圆筒(2-2)、底座(2-3)、过滤条(2-4)和过滤线圈(2-5)组成，过滤圆筒(2-2)的上端与法兰(2-1)连接，过滤圆筒(2-2)的下端与底座(2-3)连接，过滤条(2-4)的周边固定在过滤圆筒(2-2)的内侧壁上，过滤线圈(2-5)设置在过滤圆筒(2-2)的外侧壁上。