[发明专利]带永久基体改进剂的金属钨或钽平台石墨管的制作方法无效
| 申请号: | 200810134853.9 | 申请日: | 2008-08-04 |
| 公开(公告)号: | CN101550572A | 公开(公告)日: | 2009-10-07 |
| 发明(设计)人: | 马怡载 | 申请(专利权)人: | 马怡载 |
| 主分类号: | C25D3/50 | 分类号: | C25D3/50;G01N21/31 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 100086北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明带永久改进剂的金属钨或钽平台石墨管的制作方法包括;(一)电镀铱或铑2-3mg在金属钨或钽平台内壁,再按装入热解石墨管中。End cap THGA型金属钨或钽平台石墨管(WTaPGT)尺寸见摘要附图,HGA型WTaPGT见说明书附图。(二)高温热分解3mg Ir或Ru+3mgZr在end cap THGA或HGA型WTaPGT中。20g/l Ir或Ru溶液滴50μl于WTaPGT中,按200℃50s,450℃50s,1000℃35s程序热解,20g/l Zr 50μl滴于WTaPGT中,按同样程序热解,再按先Ir或Ru,后Zr顺序重复两次,三次一起用通氩气在2500℃7s清除永久基体改进剂中杂质。低温元素可用0.02mm厚镀层热解石墨层WTaPGT,中温元素用0.05mm。 | ||
| 搜索关键词: | 永久 基体 改进 金属 平台 石墨 制作方法 | ||
【主权项】:
1,本发明带永久改进剂的金属钨或钽平台石墨管的制作方法包括;(一)电镀铱或铑2-3mg在金属钨或钽平台内壁,再按装入热解石墨管中。End cap THGA型金属钨或钽平台石墨管(WTaPGT)尺寸见摘要附图,HGA型WTaPGT见说明书附图。电镀液配方可用下列配方之一;(1)IrCl3(5-15g/l),NH2SO3H(25g/l),50℃,30mA/cm2。(2)(NH4)2IrCl6(24g/l),H3BO3(40g/l),pH5,70℃,35mA/cm2。(3)(NH4)2IrCl6(2.5/l),Na2HPO4(100g/l),pH8.5,25℃,0.5mA/cm2。(4)RuCl3(5g/l),NH2SO3H(25g/l).50℃,1.6mA/cm2。(5)RuCl3(5g/l),H2SO4(40g/l),70℃,80mA/cm2。(二)高温热分解3mg Ir或Ru+3mgZr在end cap THGA或HGA型WTaPGT中。20g/l Ir或Ru溶液滴50μl于WTaPGT中,按200℃50s,450℃50s,1000℃35s程序热解,20g/l Zr 50μl滴于WTaPGT中,按同样程序热解,再按先Ir或Ru,后Zr顺序重复两次,三次一起用通氩气在2500℃7s清除永久基体改进剂中杂质。低温元素可用0.02mm厚镀层热解石墨层WTaPGT,中温元素用0.05mm。
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