[发明专利]成形坩埚和具有成形坩埚的蒸发装置无效
| 申请号： | 200810134622.8 | 申请日： | 2008-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN101363112A | 公开（公告）日： | 2009-02-11 |
| 发明（设计）人： | 乌尔里克·英格勒特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;F27B14/10 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 肖善强 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种成形坩埚和具有成形坩埚的蒸发装置。具体地，本发明提供了一种包括具有长度、宽度和厚度的坩埚的蒸发装置。所述坩埚包括用于接受和蒸发待蒸发材料的蒸发侧以及位于所述蒸发侧背面的背侧，并且所述蒸发侧和背侧均具有不平坦表面。本发明还提供了一种具有至少一个坩埚的蒸发装置。 | ||
| 搜索关键词： | 成形 坩埚 具有 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于蒸发装置的坩埚(100)，所述坩埚具有长度、宽度和厚度，所述坩埚具有用于接受和蒸发待蒸发材料(520)的蒸发侧(200)以及位于所述蒸发侧背面的背侧(300)，其中蒸发侧和背侧均具有不平坦表面。
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