[发明专利]化学放大型正性抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200810128882.4 | 申请日： | 2008-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN101334588A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 秋田诚;吉田勋;原田由香子 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/029;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)由式(I)表示的盐：A+－O3S－R (I)，其中R表示9，10－蒽醌基，所述9，10－蒽醌基可以被选自下列基团中的至少一个基团取代：C1－C4烷基，C1－C4烷氧基和羟基，并且所述的C1－C4烷基和所述的C1－C4烷氧基可以是取代的，并且A+表示有机抗衡阳离子，和(B)树脂，所述树脂包含具有酸－不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 大型 正性抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，其包含(A)由式(I)表示的盐：A+ -O3S-R (I)其中R表示9，10-蒽醌基，所述9，10-蒽醌基可以被选自下列基团中的至少一个基团取代：C1-C4烷基，C1-C4烷氧基和羟基，并且所述的C1-C4烷基和所述的C1-C4烷氧基可以是取代的，并且A+表示有机抗衡阳离子，和(B)树脂，所述树脂包含具有酸-不稳定基团的结构单元，并且所述树脂本身不溶于或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液。
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