[发明专利]探针阵列及其制造方法无效
| 申请号： | 200810128741.2 | 申请日： | 2003-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN101308165A | 公开（公告）日： | 2008-11-19 |
| 发明（设计）人： | 加埃唐·L·马蒂厄;本杰明·N·埃尔德里奇;加里·W·格鲁比 | 申请（专利权）人： | 佛姆费克托公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孟锐 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种形成一探针阵列的方法，其包括在一探针材料块上形成一尖端材料层(101)。在所述尖端材料层上设置一第一电子放电机(EDM)电极(201)，所述EDM电极具有对应于将形成的复数个探针的复数个开孔。从所述尖端材料层和所述探针材料块上移除多余的材料以形成所述的复数个探针。设置一具有对应于复数个探针的复数个通孔的衬底，以使所述探针穿透所述复数个通孔。将所述衬底结合至复数个探针。移除多余的探针材料以将所述衬底平面化。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 阵列 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种制造复数个探针的方法，所述方法包括：提供一材料块；及使用一电子放电机从所述材料块移除材料以形成所述复数个探针；其中所述材料块包含设置在牺牲材料上的探针材料。
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