[发明专利]测量温度和热处理的方法及系统有效
| 申请号： | 200810126886.9 | 申请日： | 2002-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN101324470A | 公开（公告）日： | 2008-12-17 |
| 发明（设计）人： | 大卫·玛尔科穆·卡穆;沙乌娜·科温;马瑟尔·爱得摩德·莱甫兰克斯;格莱格·司徒亚特 | 申请（专利权）人： | 加拿大马特森技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜有;顾晋伟 |
| 地址： | 加拿大英*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | 本发明提供温度测量和热处理的方法及系统。一种方法包括确定工件的第一表面的温度和根据所述第一表面的温度来控制入射在所述工件的第一表面上的照射闪光能量。所述确定可包括在所述照射闪光的初始部分期间确定所述第一表面的温度，并且所述控制可包括控制所述照射闪光的其余部分的功率。所述工件的第一表面可包括半导体晶片的器件侧。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 温度 热处理 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种热处理工件的方法，所述方法包括：a)确定所述工件的第一表面的温度；和b)根据所述第一表面的温度来控制入射在所述工件的第一表面上的照射闪光的能量。
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