[发明专利]静电卡盘电源电流采样装置及方法及等离子体装置有效
| 申请号： | 200810118186.5 | 申请日： | 2008-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN101651084A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 蒲春 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/683;G01R19/00;G01R15/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电卡盘电源电流采样装置及方法及等离子体装置。包括串联于静电卡盘电源输出端的采样电阻，采样电阻的两端分别连接有电阻分阻器，电阻分阻器的另一端接地，电阻分阻器的分阻点设有电压采集装置。通过测定分阻点的电压，计算出采样电阻两端之间的电压，进而计算出采样电阻中的电流，即静电卡盘电源的输出电流。分阻点的电压较低，对电压采集装置的要求较低，使整个装置的成本低、可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 电源 电流 采样 装置 方法 等离子体 | ||
【主权项】：
1、一种静电卡盘电源电流采样装置，包括串联于所述静电卡盘电源输出端的采样电阻，其特征在于，所述采样电阻的两端分别连接有电阻分阻器，所述电阻分阻器的另一端接地，所述电阻分阻器的分阻点设有电压采集装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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