[发明专利]一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法

摘要

本发明提供了一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法，属于真空吸气元件制备领域。首先将带双孔的陶瓷片洗净烘干；分别制备粘结剂、钛膏、吸气剂膏。取涂有三氧化二铝绝缘层的螺旋丝作为加热丝。用钛膏将陶瓷片单面均匀涂敷并通过两个小孔固定螺旋加热丝，真空烧结制成加热体。将吸气剂涂敷在带有陶瓷片的加热体上制成吸气元件坯件，将此坯件进行真空烧结，降温出炉制得引出端根部带防掉粉装置的吸气元件。本发明解决了陶瓷片与吸气剂的牢固结合技术，从而有效的用陶瓷片取代三氧化二铝的绝缘层，彻底解决了在振动条件下三氧化二铝的涂层脱落问题，使吸气元件整体强度增强，满足了特殊电真空器件对吸气元件强度性能的苛刻要求。

主权项

1、一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法，其特征在于，所述方法的步骤包括：1)陶瓷片准备：按制备吸气元件外径尺寸要求制备带双孔的95瓷陶瓷片，将陶瓷片在沸水中煮沸30分钟，再在质量浓度5％NaOH溶液中浸10分钟，取出用去离子水冲洗10分钟后烘干；2)粘结剂制备：将二乙酸二乙酯，苯二甲酸二丙酯，硝棉溶液混合配制成粘结剂；3)钛膏制备：将纯钛粉与粘结剂混合制成钛膏；4)加热体准备：按制备吸气元件外径尺寸要求及激活温度要求选取一定螺旋外径，一定电阻并涂有三氧化二铝绝缘层的螺旋热丝，将螺旋热丝两个引出端分别穿入陶瓷片两个小孔中，用钛膏将两根引出丝固定，并在对着螺旋热丝一侧的陶瓷面上均匀涂敷钛膏，晾干后放入真空炉中烧结，降温出炉后，制得带陶瓷片的元件加热体；5)吸气剂膏制备：将吸气材料粉末与粘结剂混合制得吸气剂材料；6)吸气元件制备：将吸气剂材料在带有陶瓷片的元件加热体上制作成形，制得吸气元件坯件，将坯件在真空炉中烧结，降温出炉制得引出端根部带防掉粉装置的吸气元件。