[发明专利]多晶硅铸锭炉自动控制系统及方法有效
| 申请号： | 200810111800.5 | 申请日： | 2008-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN101319366A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 张志新;李少捧 | 申请（专利权）人： | 北京京运通科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 闫立德 |
| 地址： | 100044北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种多晶硅铸锭炉自动控制系统，包括：中央处理单元，与中央处理单元连接的PLC可编程控制器，所述的中央处理单元连接多晶硅铸锭炉的加热部分和气路部分，所述的PLC可编程控制器连接人机界面装置、开关量真空泵组和电磁阀。一种多晶硅铸锭炉自动控制方法，其步骤为：第一步，自动抽真空和检漏，第二步，当检漏通过以后，进入配方运行阶段，中央处理器通过与多晶硅铸锭炉的加热部分和气路部分的数据通讯，处理当前运行状况，并与工艺要求进行对比，以输出控制信号来达到完成工艺要求的目的。本发明的优点是控制功能强大，使用操作方便，能够有效提高多晶硅铸锭的加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 自动控制系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种多晶硅铸锭炉自动控制系统，其特征在于包括：中央处理单元，与中央处理单元连接的PLC可编程控制器，所述的中央处理单元连接多晶硅铸锭炉的加热部分和气路部分，所述的PLC可编程控制器连接人机界面装置、开关量真空泵组和电磁阀。
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