[发明专利]单晶硅炉传动装置有效
| 申请号： | 200810111608.6 | 申请日： | 2008-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN101319408A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 张志新;王军;安桂正 | 申请（专利权）人： | 北京京运通科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 闫立德 |
| 地址： | 100036北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于一种单晶硅炉传动装置，该传动装置分为主轴升降装置和主轴旋转装置，主轴升降装置和主轴旋转装置并排设置，主轴旋转装置和主轴升降装置并排位于滑座上。本发明将主轴升降和旋转运行分离，能有效保持主轴平稳和密封运行，以大幅度提高硅籽晶的质量，还具有结构简单，制作使用成本低，维修和使用简便效果好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 传动 装置 | ||
【主权项】：
1、一种单晶硅炉传动装置，主要由主轴、丝杆、导柱和旋转电机所组成，其特征在于：该传动装置分为主轴升降装置和主轴旋转装置，主轴升降装置和主轴旋转装置并排设置，主轴旋转装置和主轴升降装置并排位于滑座上。
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