[发明专利]探针卡

摘要

本发明一种探针卡，包含一电路板、一顺应性的连接元、一基板、一探针组、及一调整装置。连接元设置于电路板，而基板则设置于连接元上，透过连接元电性连接于电路板，且基板的顶面形成多个接触垫，其中连接元顺应基板相对于电路板的移动及变形而随之弹性变形。探针组具备一探针台及多个探针，其中探针穿过探针台的二侧面，且探针台可拆卸地固定于基板的顶面，使各探针的一端与分别接触各接触垫。调整装置用以改变基板的形状或方位而调整探针，使探针的尖端共同位于一基准平面。

主权项

1.一种探针卡，其特征在于包含：一电路板；一顺应性的连接元，设置于该电路板；一基板，透过该连接元电性连接于该电路板，且该基板的顶面形成多个接触垫，其中该连接元是顺应该基板相对于该电路板的移动及变形而随之弹性变形；一探针组，具备一探针台及多个探针，其中所述探针是穿过该探针台的二侧面，且该探针台是可拆卸地固定于该基板的顶面，使各该探针的一端分别接触各该接触垫；及一调整装置，用以改变该基板的平坦度及方位而调整该些探针，使该些探针的尖端共同位于一基准平面。