[发明专利]图形检查装置及图形检查方法

摘要

本发明提供布线图形的检查装置以及方法，能够区别产生于图形的表面的凹坑与突起，并能够在仅检测出凹坑的同时，也进行线宽的测定。作为解决问题的手段，本发明是从TAB带的被形成有图形的一侧，通过反射照明单元(12)，对于检查区域以倾斜射入的方式来照射照明光，同时，从被形成有图形的一侧的相反侧，通过透射照明单元(13)来照射照明光，并通过摄像单元(11)对图形进行摄像。若在图形的表面存在有凹坑，则来自反射照明单元(12)的反射光射入摄像单元(11)，并将该部分拍摄为明亮。又，通过来自透射照明单元(13)的照明光，被形成有图形的部分被拍摄为灰暗，而未被形成有图形的部分被拍摄为明亮。由此，通过使用反射照明与透射照明进行摄像，能够在仅将凹坑检测出来的同时，也进行线宽的测定。

主权项

1.一种图形检查装置，根据对形成于光透过性基板上的图形照射照明光并摄像而得到的图像，判定上述图形是否合格，其特征在于，具备：第1照明单元，对于上述光透过性基板，从上述基板的被形成有图形一侧，以相对于检查区域倾斜入射的方式来照射；第2照射单元，从上述基板的被形成有图形一侧的相反侧照射照明光；摄像单元，被设置于相对于上述基板在与上述第1的照明单元所照射的照明光的方向相同的方向；和控制单元，控制上述第1照明单元与上述第2照明单元的照明，上述控制单元对上述基板进行上述第1照射单元的照明与上述第2照明单元的照明，上述摄像单元对上述第1照明单元与上述第2照明单元所照明的图形进行摄像。