[发明专利]用于基板的洗涤或蚀刻的碱性水溶液组合物无效
| 申请号： | 200810108312.9 | 申请日： | 2008-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN101319172A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 石川典夫 | 申请（专利权）人： | 关东化学株式会社 |
| 主分类号： | C11D7/32 | 分类号： | C11D7/32;C09K13/06;H01L21/302 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种为碱水溶液、没有金属杂质的附着、进而具有洗涤能力的水溶液组合物。其是一种用于基板的洗涤或蚀刻的水溶液组合物，其含有由通式(1)所示的螯合剂及碱成分，通式(1)中，R是任意的1个或2个以上的氢可以被相同或不同的取代基取代的碳原子数为2～6的亚烷基、1，2－亚环己基或1，2－亚苯基；环A及B是任意的1个或2个以上的氢可以被相同或不同的取代基取代的苯环；其中，取代基选自由碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为1～10的链烯基、碳原子数为1～10的炔基、碳原子数为1～10的酰基、碳原子数为1～10的烷氧基、苯基、苄基、萘基、羧基、磺酸基、氰基、羟基、巯基、氨基、卤素及硝基组成的组。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 洗涤 蚀刻 碱性 水溶液 组合 | ||
【主权项】：
1.一种用于基板的洗涤或蚀刻的碱性水溶液组合物，其中含有通式(1)所示的螯合剂及碱成分，![]()
式中，R是任意的1个或2个以上的氢可以被相同或不同的取代基取代的碳原子数为2～6的亚烷基、1，2-亚环己基或1，2-亚苯基；环A及B是任意的1个或2个以上的氢可以被相同或不同的取代基取代的苯环；其中，取代基选自由碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为1～10的链烯基、碳原子数为1～10的炔基、碳原子数为1～10的酰基、碳原子数为1～10的烷氧基、苯基、苄基、萘基、羧基、磺酸基、氰基、羟基、巯基、氨基、卤素及硝基组成的组。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于关东化学株式会社，未经关东化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810108312.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种印染废水中阳离子型染料的去除方法
- 下一篇：单曲面弯夹层玻璃生产技术
