[发明专利]高温晶体生长装置无效
| 申请号： | 200810104930.6 | 申请日： | 2008-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN101311333A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | 范志达;李楠;陈刚;福华北;左金才;李跃;苍珊;尹利君;王忠;何庭秋 | 申请（专利权）人： | 烁光特晶科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100018*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温晶体生长装置，从上至下依次包括坩埚、保温层、子晶杆，坩埚、子晶杆都与保温层之间相互接触良好，使坩埚的热量通过保温层传递给子晶杆，所述保温层与子晶杆之间还包括由耐高温的绝缘材料制成的子晶杆护套，所述保温层与子晶杆通过所述子晶杆护套相互连接，使热量可以经由子晶杆护套从保温层传递给子晶杆。本发明通过采用在保温层与子晶杆之间加入由耐高温的绝缘材料石英玻璃(高温绝缘性好的绝缘材料)制成的子晶杆护套，将保温层与子晶杆隔开，可以有效防止保温层与子晶杆之间在高温下产生“打火”导通现象。经过实验，解决了“打火”导通问题，完全可满足要求。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
1.一种高温晶体生长装置，从上至下依次包括坩埚、保温层、子晶杆，坩埚、子晶杆都与保温层之间相互接触良好，使坩埚的热量通过保温层传递给子晶杆，其特征在于，所述保温层与子晶杆之间还包括由耐高温的绝缘材料制成的子晶杆护套，所述保温层与子晶杆通过所述子晶杆护套相互连接，使热量可以经由子晶杆护套从保温层传递给子晶杆。
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