[发明专利]一种电子束曝光机片夹库系统

摘要

一种具有编码识别的电子束曝光机片夹库系统，由Z向运动台、用于放置片夹的片架、齿轮箱、升降台、计算机控制系统组成，在计算机控制系统的控制下，通过驱动电机带动齿轮箱内齿轮旋转，带动Z向运动台作Z向运动，使片架作Z向运动，带动片架上的片夹向上或向下运动到阀口接片处，根据需要有选择地送片夹到承片台上进行曝光，这时阀口和片夹库门同时关闭，在完成一片片夹曝光后，阀口打开，取回片夹至片夹库内保存，曝光阀口立即关闭；计算机控制系统再次控制Z向运动台向上或向下运动到下一片夹需要曝光的位置，此时阀口再次打开，进行下一片片夹曝光，如此循环下去，直至片夹全部曝光完为止。本发明缩短了送取片的时间，提高了送取片的定位精度，保证了片夹的曝光质量。

主权项

1、一种具有编码识别的电子束曝光机片夹库系统，其特征在于：由Z向运动台(11)、用于放置片夹的片架(12)、齿轮箱(13)、升降台(14)、编码识别组件(15)、计算机控制系统(16)组成；Z向运动台(11)、片架(12)和编码识别组件(15)位于片夹库(17)内，工作时片架(12)放置于Z向运动台(11)上，编码识别组件(15)安装在片夹库(17)内侧，片夹库(17)的一侧有曝光阀口(18)，当Z向运动台(11)上下移动时，编码识别组件(15)能辨别出曝光阀口(18)正对于Z向运动台(11)的位置，从而能准确辨别出曝光阀口(18)位于片架(12)的第几层片夹位置，也能准确辨别出Z向运动台(11)何时处于片夹库(17)外，便于取放片架(12)的准确位置；Z向运动台(11)受计算机控制系统(16)的控制完成Z向运动台(11)的上升、下降及定位功能；齿轮箱(13)安装在片夹库(17)后侧，工作时与片夹库(17)处于同一真空环境；在计算机控制系统(16)的控制下，通过电机带动齿轮箱(13)旋转，从而带动Z向运动台(11)上升和下降，使位于Z向运动台(11)上的片架(12)作Z向运动，带动片架(12)上的片夹运动到曝光阀口(18)处，根据需要有选择地送片夹到承片台(19)上进行曝光，这时曝光阀口(18)和片夹库(17)的门处于同时关闭状态，在完成一片片夹曝光后，曝光阀口(18)打开，取回片夹至片夹库(17)内保存，取回片夹后，曝光阀口18立即关闭，计算机控制系统(16)再次控制Z向运动台(11)向上或向下运动到下一片夹需要曝光位置，此时曝光阀口(18)再次打开，根据需要有选择地再次送片夹到承片台(19)上进行下一片片夹曝光，如此循环下去，根据需要直至片夹库(17)里的片夹全部曝光完为止，整个过程中，片夹库(17)门一直处于关闭状态；升降台(14)安装在片夹库(17)门的正下方，当片夹库(17)门打开时，可上升到最高位置，根据需要可从片夹库(17)里取出片架(12)或者从片夹库(17)外放入片架(12)，当需要放入片架(12)时，Z向运动台(11)部份件位于片夹库(17)外，正好置于升高后的升降台(14)上，放上片架(12)，可平行推入片夹库(17)内；同理，当需要取出片架(12)时，使Z向运动台(11)部份件位于片夹库(17)外，正好放在升高后的升降台(14)上，从片夹库(17)外可方便取下片架(12)。当升降台(14)下降到最低位置时，可对片夹库(17)门进行打开或关闭。