[发明专利]液晶取向层的制作方法有效

专利信息
申请号: 200810102480.7 申请日: 2008-03-21
公开(公告)号: CN101539686A 公开(公告)日: 2009-09-23
发明(设计)人: 路林林 申请(专利权)人: 北京京东方光电科技有限公司
主分类号: G02F1/1337 分类号: G02F1/1337;C23C14/35;C23C14/30
代理公司: 北京汇泽知识产权代理有限公司 代理人: 张颖玲;王黎延
地址: 100176北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种液晶取向层的制作方法,包括下述步骤:(1)设置沉积仓,在沉积仓的两侧分别设有玻璃基板及气体分配器;(2)将沉积仓抽至真空状态;(3)加热玻璃基板至所需温度;(4)向沉积仓内注入碳氢气体以及惰性气体;(5)对玻璃基板和气体分配器施加高频电压,上述气体在电场作用以及一定气体压力条件下反应,在玻璃基板表面形成取向膜;(6)用离子枪轰击取向膜,形成取向槽,从而形成液晶取向层。本发明还公开了另一种液晶取向层的制作方法,用溅射的方法形成取向膜,再用离子枪对其轰击,形成取向槽,从而形成液晶取向层。本发明可使液晶取向层的取向更一致,进而提高液晶显示器的显示品质;另外,还可以降低制造成本。
搜索关键词: 液晶 取向 制作方法
【主权项】:
1、一种液晶取向层的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括以下步骤:(1)设置沉积仓,在沉积仓的两侧分别设有玻璃基板以及气体分配器;(2)将所述沉积仓抽至真空状态;(3)加热玻璃基板至所需温度;(4)向所述沉积仓内注入碳氢气体及惰性气体;(5)对所述玻璃基板和气体分配器施加高频电压,所述碳氢气体及惰性气体在电场作用及一定气体压力条件下反应,在所述玻璃基板的表面形成取向膜;(6)采用与所述玻璃基板具有一定相对角度和斜偏角度的离子枪,对所述玻璃基板表面的取向膜进行离子轰击,在取向膜上形成取向槽,从而形成液晶取向层。
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