[发明专利]压电元件及其驱动方法、压电装置、液体排出装置

摘要

一种压电元件，具备压电体和对压电体在给定方向施加电场的电极，压电体是在基板上形成的单结晶膜，包含不施加电场时具有结晶性的第1强电介质结晶，由具有在给定的电场强度E1以上的电场施加下，第1强电介质结晶的至少一部分向与第1强电介质结晶不同的结晶系的第2强电介质结晶发生相变的特性的无机化合物结晶组成，在满足下式(1)的条件下被驱动。Emin＜E1＜Emax…(1)(Emin：最小电场施加强度，Emax：最大电场施加强度，E1：从第1强电介质结晶向第2强电介质结晶的相变开始的最小的电场强度)。

主权项

1.一种压电元件，具备具有压电性的压电体和对该压电体在给定方向施加电场的电极，其特征在于，上述压电体是在基板上形成的单结晶膜，该单结晶膜包含不施加电场时具有结晶性的第1强电介质结晶，由具有在给定的电场强度E1以上的电场施加下，上述第1强电介质结晶的至少一部分向与该第1强电介质结晶不同的结晶系的第2强电介质结晶发生相变的特性的无机化合物结晶组成，在最小电场施加强度Emin及最大电场施加强度Emax满足下式(1)的条件下被驱动，Emin＜E1＜Emax…(1)式中，电场强度E1是从第1强电介质结晶向第2强电介质结晶的相变开始的最小的电场强度。