[发明专利]半导体装置的晶体管及其制造方法

摘要

本发明公开了一种半导体装置的晶体管及其制造方法。半导体装置的晶体管可包括：半导体基板，具有隔离层界定的有源区；凹入沟槽，形成在该有源区中且配置成沿一个方向跨过该半导体基板；以及栅极线，形成为直线图案，且交叠该凹入沟槽并且配置成以近似直角与该凹入沟槽交叉。

主权项

1.一种半导体装置的晶体管，所述晶体管包括：半导体基板，包括由隔离层界定的有源区；第一凹入沟槽，形成在所述有源区中且配置成沿一个方向跨过所述半导体基板；以及第一栅极线，形成为大致上直线图案，交叠所述第一凹入沟槽，并且配置成以近似直角与所述第一凹入沟槽交叉。