[发明专利]平板显示器制造设备的起模针模块有效
| 申请号： | 200810085711.8 | 申请日： | 2006-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN101261791A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 李荣钟;崔浚泳;金春植;李昌根;金炯寿;李祯彬;黄荣周;孙亨圭;李升昱;尹炳五;任相俊;金龙泰 | 申请（专利权）人： | 爱德牌工程有限公司 |
| 主分类号： | G09F9/30 | 分类号： | G09F9/30 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种起模针模块，为了防止工艺气体在工艺过程中通过起模针孔渗入，引发异常放电的现象，该起模针模块具备起模针，该起模针紧贴着位于下部电极的起模针孔。 | ||
| 搜索关键词： | 平板 显示器 制造 设备 起模针 模块 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，包括：下部电极，基板置于其上；以及起模针模块，支撑置于所述下部电极上的所述基板，其中所述起模针模块包括针外壳，所述针外壳插入形成于所述下部电极上的插入孔中，起模针穿过形成在针外壳上的通道上下运动以支撑所述基板。
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