[发明专利]扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 200810085128.7 | 申请日： | 2008-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN101388317A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 陈仲伟;郭小立;任岩;何福民;曹峰;郭瑜;卢志刚 | 申请（专利权）人： | 北京威孚物理科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100095北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种扫描电子显微镜，具有电子源，其阴极和阳极保持恒定的高抽取电压，可以得到高亮度、低能散的一次电子束；一个高压管系统，包含上高压管和下高压管，二者独立供电，使一次电子在其内部具有高能量，减小电子间相互作用；一个物镜聚焦系统和减速装置，将一次电子束以特定着陆能量聚焦于样品上；偏转系统含有一个环形多极的静电偏转器，其静电偏转器位于聚焦磁场内，形成聚焦偏转复合场，具有更小的偏转像差，可以对样品进行快速高分辨大视场成像。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
1. 一种扫描电子显微镜，其中具有：一个电子源，包括一个阴极，以产生一次电子，一个阳极以加速所述阴极发出的一次电子至所述阳极电势；一个高压管系统，包括上高压管和下高压管两个部分，二者由不同的电源供电；一个光阑选择装置，以选择不同的电子束电流；一个闪烁体探测器系统，以探测样品在所述一次电子束照射下发出的二次电子及背散射电子；一个物镜聚焦系统，以会聚所述一次电子到样品上；一个电磁复合的偏转扫描系统，以偏转所述一次电子；一个屏蔽电极，位于物镜和样品之间；一个样品台；其中所述上高压管和所述阳极的电势相同。
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