[发明专利]一种去除原生多晶硅棒端面石墨的方法在审
申请号: | 200810080089.1 | 申请日: | 2008-12-10 |
公开(公告)号: | CN101497440A | 公开(公告)日: | 2009-08-05 |
发明(设计)人: | 秦海滨;任晓军;许家云;李金龙;靳权 | 申请(专利权)人: | 山西天能科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 030032山西*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明一种去除原生多晶硅棒端面石墨的方法,属于多晶硅棒料加工技术领域,提供一种利用化学方法,方便、充分的去除硅棒端面石墨的方法,采用的方案为:先将多晶硅棒两端带有石墨夹头的原料敲下来,再将原料破碎成小块,然后将原生多晶硅两端带碳的原料进行热处理,再酸洗,然后水洗呈中性,最后烘干即可,上述热处理的方法为:将原生多晶硅两端带碳的原料装石英舟,在马弗炉里以8-15℃/min的升温速率加到880-920℃,恒温两小时,然后自然冷却;本发明广泛应用于批量加工多晶硅棒料中。 | ||
搜索关键词: | 一种 去除 原生 多晶 端面 石墨 方法 | ||
【主权项】:
1、一种去除原生多晶硅棒端面石墨夹头的方法,先将多晶硅棒两端带有石墨夹头的原料敲下来,再将原料破碎成小块,然后将原生多晶硅两端带碳的原料进行热处理,再酸洗,然后水洗呈中性,最后烘干即可;其特征在于上述热处理的方法为:将原生多晶硅两端带碳的原料装石英舟,在马弗炉里以8-15℃/min的升温速率加到880-920℃,恒温两小时,然后自然冷却。
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